У ВАС отключен Java Script. Полноценное функционирование сайта НЕ ОБЕСПЕЧЕНО

Ru
En
Cn

КОРРЕКТНОСТЬ РАБОТЫ САЙТА НЕ ГАРАНТИРУЕТСЯ!

Главная Эталоны Исходные эталоны Республики Беларусь Единицы длины в нанометровом диапазоне

Единицы длины в нанометровом диапазоне

Создан и эксплуатируется с 2009 года.

Метрологические характеристики:

диапазон измерений от 7 до 1350 нм
пределы допускаемой абсолютной погрешности Δ = ± (0,5-10) нм.

В эталон входят :

а) меры ширины и высоты (решетки) TGZ01, TGZ02,TGZ03,TGZ04,TGZ11,TGF11,TGX01,

TGX11, TGG01 с номиальной высотой от 18 до 1350нм, производитель-фирма «Mikromasch», Россия-Эстония.


Решетки TGX01/TGX11	Изображение решетки полученное на электронном сканирующем микроскопе

Основные метрологические характеристики решеток TGX01/TGX11

Наименование характеристики	Значение для типа меры
	TGX01	TGX11
Высота ступеньки, мм	1,0	2,0
Шаг	3,0 мкм ± 8нм	10,0 мкм ± 8нм
Активная площадь, мм	2х2
Радиус закругления ребра, не более, нм	5
Размер чипа, мм	5х5х0,45


Решетка TGF11	Изображение решетки полученное на электронном сканирующем микроскопе

Основные метрологические характеристики решетки TGF11

Наименование характеристики	Значение
Активная площадь, мм	3х3
Угол наклона ребра	54°44´
Шаг	10,0 мкм ± 5нм
Размер чипа, мм	5х5х0,45


Решетка TGG01	Изображение решетки полученное на электронном сканирующем микроскопе

Основные метрологические характеристики решетки TGG01

Наименование характеристики	Значение
Активная площадь, мм	3х3
Радиус закругления ребра, не более, нм	10
Шаг	3мкм ± 5нм
Угол при вершине	70°
Размер чипа, мм	5х5х0,45


Решетки TGZ01/TGZ02/TGZ03/TGZ04/TGZ11	Изображение решетки полученное на электронном сканирующем микроскопе

Основные метрологические характеристики решеток TGZ

Тип меры	Высота ступени,мм	Шаг,мкм
TGZ01	18-26±1,0	3,0
TGZ02	98-104±2	3,0
TGZ03	496-503±6	3,0
TGZ04	1000±25	3,0
TGZ11	1350±30	10,0
Активная площадь, мм	3х3
Размер чипа,мм	5х5х0,45

б) меры высоты ступени компоновки А с номинальной высотой 7,2 нм, 20,9 нм, 69,0 нм, 295,4 нм, 781,4 нм, производитель – Физико-технический институт РТВ, Германия


Изображение мер высоты ступени компоновки А	Мера высоты ступени компоновки А

Метрологические характеристики меры высоты ступени компоновки А

Номинальная высота меры, нм	Неопределенность измерения высоты меры U(k=2,p=95%), нм	Размер чипа
7,2	1,0	5х5
20,9	0,7
69,0	0,9
295,4	1,0
781,4	1,4

в) мера ширины линий с шириной линии от 0.5 до 20 мкм, производитель - концерн «Планар»


Изображение меры ширины линии	Изображение модуля меры

Метрологические характеристики меры ширины линий

Наименование характеристики	Значение
Размер тестовой зоны, мм	60 × 60
Ширина линий (в проходящем и отраженном свете), мкм	0,5; 0,6; 0,7; 0,8; 0,9; 1,0; 1,5; 2,0; 5,0; 10,0; 20,0; 30,0
Ширина шага линий, мкм	2; 3; 4; 5; 6
Ширина линий и промежутка, мкм	5; 15; 20; 30; 40; 70
Предельное отклонение размеров модуля и расположение элементов в модуле, мкм	± 1,0
Предельное отклонение размеров, мкм: до 1 мкм до 2 мкм до 5 мкм до 30 м	±0,1 ±0,2 ±0,5 ±1
Неровность края для линий и штриховв зоне измерения, мкм	0,1

Изображение объект-микрометр ОМО (слево) и ОМП(справа)

Метрологические характеристики объект-микрометров

Наименование характеристик	Значение
Длина всей шкалы, мм	1 ± 0,003
Расстояние между серединами любых десяти делений, мм	0,1 ± 0,002
Ширина штрихов шкалы, мм	0,002 ± 0,001
Смещение шкалы относительно центра пластинки, не более, мм	1,0
Отклонение от параллельности штрихов относительно оправы, не более, мм	0,05

Эталон единицы длины в нанометровом диапазоне применяется для:

хранения и передачи единицы длины в нанометровом диапазоне рабочим средствам измерений, применяемым в народном хозяйстве, с целью обеспечения единства и достоверности измерений;
калибровки сканирующих зондовых атомно-силовых и электронных растровых измерительных микроскопов.

Эталон единицы длины в нанометровом диапазоне хранится в производственно-исследовательском отделе измерений геометрических величин БелГИМ, г. Минск, Старовиленский тракт, 93. Контактный телефон: 239-23-38, 233-35-82 (Демидова А.Е., Пинчук А.П.).

Главная Эталоны Исходные эталоны Республики Беларусь Единицы длины в нанометровом диапазоне

Печать

Предпросмотр к печати

Национальный информационный фонд в области обеспечения единства измерений Пересмотр основных единиц Международной системы единиц (SI) 95 лет метрологии в Беларуси Государственный реестр средств измерений Прием приборов в поверку Прием приборов на калибровку Краткая информация о подтверждении соответствия (сертификации) продукции в БелГИМ Заявки на проведение работ по подтверждению соответствия продукции, услуг и персонала Программы проверки квалификации лабораторий Анкета оценки эффективности деятельности БелГИМ

Метрология Эталоны Реестры Испытания Сертификация и декларирование Административные процедуры Услуги О БелГИМ Контакты