Единицы длины в нанометровом диапазоне
Создан и эксплуатируется с 2009 года.
Метрологические характеристики:
- диапазон измерений от 7 до 1350 нм
- пределы допускаемой абсолютной погрешности Δ = ± (0,5-10) нм.
В эталон входят :
а) меры ширины и высоты (решетки) TGZ01, TGZ02,TGZ03,TGZ04,TGZ11,TGF11,TGX01,
TGX11, TGG01 с номиальной высотой от 18 до 1350нм, производитель-фирма «Mikromasch», Россия-Эстония.
 |

|
Решетки TGX01/TGX11 |
Изображение решетки полученное на электронном сканирующем микроскопе |
Основные метрологические характеристики решеток TGX01/TGX11
Наименование характеристики
|
Значение для типа меры |
TGX01 |
TGX11 |
Высота ступеньки, мм |
1,0 |
2,0 |
Шаг |
3,0 мкм ± 8нм |
10,0 мкм ± 8нм |
Активная площадь, мм |
2х2 |
Радиус закругления ребра, не более, нм |
5 |
Размер чипа, мм |
5х5х0,45 |
 |

|
Решетка TGF11 |
Изображение решетки полученное на электронном сканирующем микроскопе |
Основные метрологические характеристики решетки TGF11
Наименование характеристики |
Значение |
Активная площадь, мм |
3х3 |
Угол наклона ребра |
54°44´ |
Шаг |
10,0 мкм ± 5нм |
Размер чипа, мм |
5х5х0,45 |
 |

|
Решетка TGG01 |
Изображение решетки полученное на электронном сканирующем микроскопе |
Основные метрологические характеристики решетки TGG01
Наименование характеристики |
Значение |
Активная площадь, мм |
3х3 |
Радиус закругления ребра, не более, нм |
10 |
Шаг |
3мкм ± 5нм |
Угол при вершине |
70° |
Размер чипа, мм |
5х5х0,45 |
 |

|
Решетки TGZ01/TGZ02/TGZ03/TGZ04/TGZ11 |
Изображение решетки полученное на электронном сканирующем микроскопе |
Основные метрологические характеристики решеток TGZ
Тип меры |
Высота ступени,мм |
Шаг,мкм |
TGZ01 |
18-26±1,0 |
3,0 |
TGZ02 |
98-104±2 |
3,0 |
TGZ03 |
496-503±6 |
3,0 |
TGZ04 |
1000±25 |
3,0 |
TGZ11 |
1350±30 |
10,0 |
Активная площадь, мм |
3х3 |
Размер чипа,мм |
5х5х0,45 |
б) меры высоты ступени компоновки А с номинальной высотой 7,2 нм, 20,9 нм, 69,0 нм, 295,4 нм, 781,4 нм, производитель – Физико-технический институт РТВ, Германия
 |
 |
Изображение мер высоты ступени компоновки А |
Мера высоты ступени компоновки А |
Метрологические характеристики меры высоты ступени компоновки А
Номинальная высота меры, нм |
Неопределенность измерения высоты
меры U(k=2,p=95%), нм
|
Размер чипа |
7,2 |
1,0 |
5х5
|
20,9 |
0,7 |
69,0 |
0,9 |
295,4 |
1,0 |
781,4 |
1,4 |
в) мера ширины линий с шириной линии от 0.5 до 20 мкм, производитель - концерн «Планар»
 |
 |
Изображение меры ширины линии |
Изображение модуля меры |
Метрологические характеристики меры ширины линий
Наименование характеристики |
Значение |
Размер тестовой зоны, мм |
60 × 60 |
Ширина линий (в проходящем и отраженном свете), мкм |
0,5; 0,6; 0,7; 0,8; 0,9; 1,0; 1,5; 2,0; 5,0; 10,0; 20,0; 30,0 |
Ширина шага линий, мкм |
2; 3; 4; 5; 6 |
Ширина линий и промежутка, мкм |
5; 15; 20; 30; 40; 70 |
Предельное отклонение размеров модуля и расположение элементов в модуле, мкм |
± 1,0 |
Предельное отклонение размеров, мкм: до 1 мкм до 2 мкм до 5 мкм до 30 м |
±0,1 ±0,2 ±0,5 ±1 |
Неровность края для линий и штриховв зоне измерения, мкм |
0,1 |

Изображение объект-микрометр ОМО (слево) и ОМП(справа)
Метрологические характеристики объект-микрометров
Наименование характеристик |
Значение |
Длина всей шкалы, мм |
1 ± 0,003 |
Расстояние между серединами любых десяти делений, мм |
0,1 ± 0,002 |
Ширина штрихов шкалы, мм |
0,002 ± 0,001 |
Смещение шкалы относительно центра пластинки, не более, мм |
1,0 |
Отклонение от параллельности штрихов относительно оправы, не более, мм |
0,05 |
Эталон единицы длины в нанометровом диапазоне применяется для:
- хранения и передачи единицы длины в нанометровом диапазоне рабочим средствам измерений, применяемым в народном хозяйстве, с целью обеспечения единства и достоверности измерений;
- калибровки сканирующих зондовых атомно-силовых и электронных растровых измерительных микроскопов.
Эталон единицы длины в нанометровом диапазоне хранится в производственно-исследовательском отделе измерений геометрических величин БелГИМ, г. Минск, Старовиленский тракт, 93. Контактный телефон: 239-23-38, 233-35-82 (Демидова А.Е., Пинчук А.П.).